1、模块化结构设计：x射线管和x射线光学器件能够依据特定要求轻松调整
2、简单操作：可通过sem监控器轻松调整并查看测量位置
3、可通过选定法兰轻松安装到所有现有原子力显微镜上
4、适用于分析低至10 µm的结构：高质量的多毛细管光学器件可将 x 射线聚焦在小型测量区域上。
5、表面下方检查：即使表面下方深处的材料也能测量
1、sem 映射：快速概览样品的元素成分；找出sem无法看到的元素
2、故障分析，材料失效与材料疲劳测试
3、在 sem 中直接进行材料分析，例如测定铝合金中的硅与锌比例
4、鉴定分析
5、ppm 级的痕量元素证明
检测重元素 (z > 18)
